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什么是扩散炉呢?

发布时间:2018-11-05    

什么是扩散炉呢?



扩散炉是半导体器件及大规模集成电路制造过程中用于对晶片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺的一种热加工设备。

1、可保存多条工艺曲线,每条曲线可设置多步。

2、工艺曲线的自动运行控制功能。

3、自动运行中可暂停/继续运行功能。

4、工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能。

5、智能升降温斜率控制功能。

6、系统故障的检测与报警功能。

7、系统误差修正(单点或多点动态修正功能)。

扩散炉用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。较新的低压磷扩散利用低压氛围可以得到更好的方块电阻均匀性和更大的生产批量,扩散炉生产厂家,同时对环境的影响比较小。氧化工艺是使硅片表面在高温下与氧化剂发生反应,生长一层二氧化硅膜。氧化方法有干氧和湿氧,湿氧包括水汽氧化和氢氧合成两种。

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